產品詳情
日立鎢燈絲掃描電子顯微鏡主要特點：
HexBias偏壓鎢燈絲電子槍
優異的高、低電壓性能
高靈敏度五分割背散射電子探測器
可變壓力二次電子探測器（高、低真空可用）
全新的操作界面和光鏡導航功能
全自動燈絲設定和合軸
報告導出和圖片處理
可集成的EDS
簡單方便的維護（燈絲更換視頻）
日立鎢燈絲掃描電子顯微鏡 應用領域：
材料科學
生命醫學
食品衛生
半導體電子元器件
汽車制造
主要參數：
電子槍 | 預對中鎢燈絲 |
加速電壓 | 0.3kV – 30kV |
分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
15.0nm@1kV (SE) | |
4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
放大倍率 | 5x – 300,000x（底片倍率） |
7x – 800,000x（顯示器倍率） | |
探測器 | 二次電子探測器，高靈敏度無分割背散射電子探測器 |
可變壓力探測器UVD 2.0* | |
低真空可變壓力范圍 | 6 – 650Pa |
樣品臺（三軸馬達） | X: 0 - 100 mm |
Y: 0 – 40 mm | |
Z: 5 – 65 mm | |
R: 0 – 360° | |
T: -20° - +90° |
*選配
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